Elektrostatische Einspannvorrichtung mit Oberer Keramikschicht mit einer Dielektrischen Schicht und Zugehörige Verfahren und Strukturen

EP4423804 Art A1 4. September 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4423804
Aktenzeichen
EP22888113
Anmeldetag
26. Oktober 2022
Veröffentlichung
4. September 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01L21/687C23C16/40C23C16/458
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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