Stromversorgungsvorrichtung

EP4423894 Art A1 4. September 2024

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4423894
Aktenzeichen: EP22888067
Anmeldetag: 25. Oktober 2022
Veröffentlichung: 4. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H02M1/42H02M1/08H02M1/00H02M3/00G05F1/70H02M3/335

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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