Saatsubstrat für Epitaktisches Wachstum und Verfahren zur Herstellung davon sowie Halbleitersubstrat und Verfahren zur Herstellung davon

EP4424888 Art A1 4. September 2024

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4424888
Aktenzeichen: EP22886382
Anmeldetag: 23. Juni 2022
Veröffentlichung: 4. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/18C04B35/581C04B41/87C30B29/40H01L21/20C30B33/06C04B41/00C04B41/52C04B41/89H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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