An einem Mehrschichtigen Reflektierenden Film Befestigtes Substrat, Reflektierender Maskenrohling, Reflektierende Maske und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4425258 Art A1 4. September 2024

Anmelder: Hoya Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4425258
Aktenzeichen: EP22887095
Anmeldetag: 26. Oktober 2022
Veröffentlichung: 4. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F7/20G03F1/48

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hoya Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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