Spülflussverteilungssystem für einen Substratbehälter und Verfahren zur Durchführung davon
EP4428907
Art A3
11. Dezember 2024
Anmelder: ENTEGRIS INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4428907
- Aktenzeichen
- EP24181540
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar