Verfahren und Systeme zur Rückkopplungssteuerung in der Plasmaverarbeitung mittels Radikalerfassung

EP4430651 Art A1 18. September 2024

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4430651
Aktenzeichen: EP22893562
Anmeldetag: 9. November 2022
Veröffentlichung: 18. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von