Verfahren und Systeme zur Verwaltung von Reinigungsprozesssequenzen

EP4430658 Art A1 18. September 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4430658
Aktenzeichen: EP22893458
Anmeldetag: 21. Oktober 2022
Veröffentlichung: 18. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418H01L21/67G06Q10/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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