Hochtemperatur Ablösbarer Elektrostatischer Scheibenhalter (esc) für Pvd-Kammer mit Sehr Hoher Frequenz (vhf)

EP4433622 Art A1 25. September 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4433622
Aktenzeichen: EP22896274
Anmeldetag: 7. Juli 2022
Veröffentlichung: 25. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50C23C14/54H01J37/32H01L21/683H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von