Gasdiffusorgehäuse, Vorrichtungen und Zugehörige Verfahren

EP4434082 Art A1 25. September 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4434082
Aktenzeichen
EP22896341
Anmeldetag
9. November 2022
Veröffentlichung
25. September 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455H01L21/673H01L21/67B33Y80/00C30B25/14H01J37/32// B22F5/10B22F10/28B29C64/153B33Y10/00B33Y70/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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