Verfahren zur Herstellung einer Struktur für Mikroelektromechanische Systeme

EP4436909 Art B1 10. Dezember 2025

Anmelder: LPKF Laser & Electronics SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4436909
Aktenzeichen
EP22809095
Anmeldetag
25. Oktober 2022
Veröffentlichung
10. Dezember 2025
Erteilung
10. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LPKF Laser & Electronics SE
Land
🇩🇪 Deutschland

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