Reinigungszusammensetzung für Mikroelektronische Vorrichtung

EP4437073 Art A1 2. Oktober 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4437073
Aktenzeichen
EP22899318
Anmeldetag
21. November 2022
Veröffentlichung
2. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C11D3/00C11D3/43C11D3/36C11D3/20C11D3/30C11D3/37C11D11/00C11D3/04C11D3/34H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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