Reinigungszusammensetzung für Mikroelektronische Vorrichtung
EP4437073
Art A1
2. Oktober 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4437073
- Aktenzeichen
- EP22899318
- Anmeldetag
- 21. November 2022
- Veröffentlichung
- 2. Oktober 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C11D3/00C11D3/43C11D3/36C11D3/20C11D3/30C11D3/37C11D11/00C11D3/04C11D3/34H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar