Verfahren zum Kalibrieren eines Manipulierbaren Optischen Moduls

EP4445220 Art A1 16. Oktober 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4445220
Aktenzeichen: EP22817793
Anmeldetag: 2. Dezember 2022
Veröffentlichung: 16. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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