Mehrschichtiges Arbeitsfunktionsmetall in Nanosheet-Stapeln unter Verwendung eines Opferoxidmaterials

EP4445422 Art A1 16. Oktober 2024

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4445422
Aktenzeichen
EP22817744
Anmeldetag
16. November 2022
Veröffentlichung
16. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/06H01L29/423H01L29/49H01L21/336H01L29/775H01L21/8234H01L27/088H01L29/51
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
International Business Machines Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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