Elektrostatische Einspannvorrichtung, Abscheidungsvorrichtung damit und damit Hergestellte Anzeigetafel
Anmelder: Samsung Display Co., Ltd. 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4446457
- Aktenzeichen
- EP24167710
- Anmeldetag
- 28. März 2024
- Veröffentlichung
- 25. Dezember 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/50H01L21/683H01L21/687H10K71/00
Abstract
Provided are an electrostatic chuck, a deposition apparatus including the same, and a display panel fabricated using the same. According to an aspect, there is provided an electrostatic chuck including, a body, and a tension assist device disposed at a border of the body, the tension assist device includes a stepped portion disposed on a side of the body, and an end of the stepped portion is disposed higher than an upper surface of the body.
Anmelder
- Firma
- Samsung Display Co., Ltd.
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
Südkoreanisches Tochterunternehmen der Samsung-Gruppe, das Displaypanels wie OLED- und LCD-Bildschirme für Smartphones, Fernseher und weitere Elektronikgeräte entwickelt und herstellt.
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Venner Shipley entstand 1947 aus einer Patentagentur der 1930er-Jahre; durch Fusionen reichen ihre Wurzeln bis in die 1880er zurück. Als europäische Full-Service-IP-Kanzlei ist sie neben Großbritannien auch in Madrid und München vertreten.