Flüssigkeitsfiltereinheit mit Vertikal Angeordneten Filtern und Verfahren zum Betrieb davon

EP4448140 Art A1 23. Oktober 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4448140
Aktenzeichen
EP22908256
Anmeldetag
8. Dezember 2022
Veröffentlichung
23. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
B01D35/30B01D63/06B01D69/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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