Vakuumkammer, Vakuumsystem und Verfahren zur Vakuumbehandlung

EP4448212 Art A1 23. Oktober 2024

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4448212
Aktenzeichen
EP22908195
Anmeldetag
11. November 2022
Veröffentlichung
23. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/54C23C14/24C23C14/26B23K26/352B23K26/0622B23K26/12B23K26/40B23K103/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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