Verfahren zur Messung des Radikalionenflusses unter Verwendung einer Modifizierten Pirani-Vakuummessarchitektur
EP4449084
Art A1
23. Oktober 2024
Anmelder: Applied Materials Inc; 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4449084
- Aktenzeichen
- EP22908204
- Anmeldetag
- 18. November 2022
- Veröffentlichung
- 23. Oktober 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L21/12H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials Inc;
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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