Abscheidung von Siliciumnitrid mit Erhöhter Selektivität

EP4449478 Art A1 23. Oktober 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4449478
Aktenzeichen
EP22908277
Anmeldetag
12. Dezember 2022
Veröffentlichung
23. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02C23C16/04C23C16/34C23C16/455C23C16/56
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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