Elektrostatischer Endeffektor für einen Herstellungssystemroboter

EP4449488 Art A1 23. Oktober 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4449488
Aktenzeichen
EP22908507
Anmeldetag
16. Dezember 2022
Veröffentlichung
23. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01L21/677H01L21/687B25J15/00B25J11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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