Verfahren zur Identifizierung eines Fehlers, der ein von einer Mikroelektronischen Komponente Getragenes Kontrollmuster Beeinflussen, Steuerverfahren, Entsprechendes Instrument und Computerprogrammprodukt

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4451060

Aktenzeichen

EP24171234

Anmeldetag

19. April 2024

Veröffentlichung

26. November 2025

Erteilung

26. November 2025

Rechtsraum

EP

IPC

G03F7/00H01L21/66G01N23/201G01B15/06

Abstract

Procédé d'identification (100) d'un défaut affectant un motif de contrôle porté par un composant microélectronique et résultant de la superposition d'un premier réseau de lignes et d'un second réseau de lignes. Le procédé, qui met en oeuvre une technique de diffusion des rayons X aux petits angles, comporte les étapes consistant à : acquérir (105), en éclairant le motif de contrôle, une pluralité de mesures d'intensité d'un faisceau de rayons X transmis ou réfléchi pour une pluralité d'angles d'incidence du faisceau de rayons X pour reconstruire, à partir de la pluralité de mesures d'intensité, au moins deux tiges de Bragg d'ordre n et -n d'une figure de diffraction ; et appliquer (110, 120, 130, 140) une pluralité de tests (Q1, Q2, Q3, Q4) sur la figure de diffraction pour déterminer le type du défaut affectant le motif de contrôle.

Anmelder

Firmen

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete