Neuartiger Fotosäuregenerator, Fotolackzusammensetzung und Verfahren zur Formung von Fotolackmustern

EP4451061 Art A1 23. Oktober 2024

Anmelder: Dongjin Semichem Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4451061
Aktenzeichen
EP21968294
Anmeldetag
22. Dezember 2021
Veröffentlichung
23. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004C07C323/20C07C323/21
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dongjin Semichem Co., Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Dongjin Semichem

Der Anmelder ist ein südkoreanischer Hersteller von Chemikalien für die Halbleiter- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Klebstoffe, Optik und Kunststofftechnik, insbesondere Fotoresists und Materialien für Dünnschichtprozesse. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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