Retikel-Pod-Innenschale mit Unterschiedlichem Material an Kontaktflächenschnittstellen

EP4454000 Art A1 30. Oktober 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4454000
Aktenzeichen
EP22912297
Anmeldetag
13. Dezember 2022
Veröffentlichung
30. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673G03F1/66
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen