Verfahren und Systeme mit Leitfähiger Polymerbeschichtung für Elektrostatische Entladungsanwendungen

EP4454002 Art A1 30. Oktober 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4454002
Aktenzeichen
EP22912454
Anmeldetag
21. Dezember 2022
Veröffentlichung
30. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/673C09D5/24C09D165/00C09D179/00C09D139/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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