Alkoholverbindung, Chemisch Verstärkte Negative Resistzusammensetzung und Verfahren zur Formung einer Resiststruktur

EP4459376 Art A3 15. Januar 2025

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4459376
Aktenzeichen
EP24200469
Anmeldetag
22. Dezember 2021
Veröffentlichung
15. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C07C43/23C07C69/44C07C69/712C07C69/76C07C69/82C08L33/26C08L33/16G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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