Prädiktive Modellierung zur Kammerzustandsüberwachung

EP4460734 Art A1 13. November 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4460734
Aktenzeichen: EP23737643
Anmeldetag: 6. Januar 2023
Veröffentlichung: 13. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G05B23/02G06N20/00H01L21/67G05B19/418G06F18/214G06N20/20G06V10/774G06V10/82G06V20/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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