Verfahren zur Herstellung eines Donorsubstrats zur Übertragung einer Piezoelektrischen Schicht und Verfahren zur Übertragung einer Piezoelektrischen Schicht auf ein Trägersubstrat

EP4466729 Art A1 27. November 2024

Anmelder: SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4466729
Aktenzeichen
EP23700213
Anmeldetag
11. Januar 2023
Veröffentlichung
27. November 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/762H10N30/073
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SOITEC
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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