Verfahren zur Messung der Restmenge an Feststoffen, Verfahren zur Versorgung mit Sublimiertem Gas und System zur Versorgung mit Sublimiertem Gas

EP4467683 Art A1 27. November 2024

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4467683
Aktenzeichen: EP23743213
Anmeldetag: 16. Januar 2023
Veröffentlichung: 27. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/448B01J4/00B01J7/00H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von