Stempel zur Verwendung in der Imprint-Lithographie, Verfahren zu Seiner Herstellung und Verfahren für die Imprint-Lithographie
EP4468079
Art A1
27. November 2024
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4468079
- Aktenzeichen
- EP23174492
- Anmeldetag
- 22. Mai 2023
- Veröffentlichung
- 27. November 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
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