Wafertestsystem, Verfahren zum Ersetzen einer Sondenkarte und Sondenvorrichtung

EP4468325 Art A1 27. November 2024

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4468325
Aktenzeichen: EP22920528
Anmeldetag: 12. Dezember 2022
Veröffentlichung: 27. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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