Verfahren zum Betreiben einer Beschichtungsanlage, Steuerung zum Betreiben einer Beschichtungsanlage, Elektronenfangvorrichtung und Beschichtungsanlage

EP4469615 Art A1 4. Dezember 2024

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4469615
Aktenzeichen: EP22708373
Anmeldetag: 27. Januar 2022
Veröffentlichung: 4. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/30C23C14/54C23C14/56H01J37/00H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von