Integriertes Substratmesssystem

EP4469751 Art A1 4. Dezember 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4469751
Aktenzeichen: EP22924513
Anmeldetag: 18. November 2022
Veröffentlichung: 4. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06G01B11/02G01B11/03H01L21/66H01L21/687H01L21/683H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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