Kommunikationsknoten zur Schnittstelle zwischen Bewertungssystemen und einem Herstellungssystem

EP4469874 Art A1 4. Dezember 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4469874
Aktenzeichen
EP23771378
Anmeldetag
15. März 2023
Veröffentlichung
4. Dezember 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G05B19/418G06N20/00G05B23/02H04L67/12H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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