Substratbehälter mit Mechanisch Betätigtem Auslassventil
EP4473557
Art A1
11. Dezember 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4473557
- Aktenzeichen
- EP23750182
- Anmeldetag
- 2. Februar 2023
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar