Identifikationsvorrichtung zur Erkennung von Fremdkörpern und Betrieb mit Fluoreszenz-Röntgenstrahlen

EP4474802 Art A1 11. Dezember 2024

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4474802
Aktenzeichen: EP22924088
Anmeldetag: 29. November 2022
Veröffentlichung: 11. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N23/223G01N23/04G01N23/2206

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Anelva Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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