Monomer, Polymer, Chemisch Verstärkte Negative Resistzusammensetzung und Strukturbildungsverfahren

EP4474910 Art A1 11. Dezember 2024

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4474910
Aktenzeichen
EP24179697
Anmeldetag
3. Juni 2024
Veröffentlichung
11. Dezember 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004C08F220/24C08F220/38G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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