Kalibrieranordnung für einen Lithiumabscheidungsprozess, Lithiumabscheidungsvorrichtung und Verfahren zur Bestimmung einer Lithiumabscheidungsrate in einem Lithiumabscheidungsprozess

EP4476539 Art A1 18. Dezember 2024

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4476539
Aktenzeichen
EP22708500
Anmeldetag
11. Februar 2022
Veröffentlichung
18. Dezember 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G01N29/12C23C14/54G01B7/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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