Verfahren zur Herstellung eines Multispektralen Filters für Elektromagnetische Strahlung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4478416

Aktenzeichen

EP24181316

Anmeldetag

11. Juni 2024

Veröffentlichung

18. Dezember 2024

Rechtsraum

EP

IPC

H01L27/146H01L31/0216

Abstract

L'invention concerne un procédé (100) de fabrication d'un filtre multispectral pour une radiation électromagnétique comportant au moins deux filtres, chaque filtre comportant une première couche réfléchissante, une deuxième couche réfléchissante, une couche diélectrique de cavité de Fabry-Pérot, le procédé comportant les étapes de :- Dépôt (101) sur un substrat porteur comportant au moins deux transducteurs photoélectriques, d'une couche de matériau de structuration;- Structuration (101) en 3D de la couche de matériau de structuration de sorte à obtenir au moins deux motifs de hauteurs différentes, un des motifs présentant une hauteur maximale de référence relativement au substrat porteur ;- Dépôt conforme (104) d'une première couche réfléchissante ;- Dépôt (105) d'une couche réalisée dans le matériau diélectrique destiné à former les motifs diélectriques des cavités de Fabry-Pérot ;- Planarisation (106) par retrait du matériau diélectrique avec arrêt sélectif au sommet du motif de matériau de structuration le plus haut;- Dépôt (107) d'une couche réalisée dans le même matériau diélectrique de façon à finaliser la formation des cavités de Fabry-Pérot et d'une seconde couche réfléchissante sur les deux cavités de Fabry-Pérot.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete