Haltevorrichtung, Lithografievorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP4481497 Art A1 25. Dezember 2024

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4481497
Aktenzeichen: EP23756133
Anmeldetag: 27. Januar 2023
Veröffentlichung: 25. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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