Verfahren zur Herstellung von Mustern mit Unterschiedlichen Kritischen Dimensionen

EP4481793 Art A1 25. Dezember 2024

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4481793
Aktenzeichen: EP24181985
Anmeldetag: 13. Juni 2024
Veröffentlichung: 25. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von