Verfahren und Vorrichtung zum Thermisch Stabilen Betrieb von Aods

EP4483240 Art A1 1. Januar 2025

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4483240
Aktenzeichen
EP23760820
Anmeldetag
15. Februar 2023
Veröffentlichung
1. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/33G02F1/11H01S3/106H01S3/08H01S3/04G02B26/08G02F1/29
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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