Maschinenlernen und Integrierte Metrologie zur Run-To-Run-Optimierung der Chip-To-Wafer-Ausrichtungsgenauigkeit

EP4483405 Art A1 1. Januar 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4483405
Aktenzeichen: EP23760624
Anmeldetag: 23. Februar 2023
Veröffentlichung: 1. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H10W80/00G05B13/02H10P72/00H10P72/76H10P74/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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