Steuerung der Elektrostatischen Ladung auf Masken für Extrem-Ultraviolett-Lithographie

EP4485079 Art A1 1. Januar 2025

Anmelder: Intel Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4485079
Aktenzeichen: EP23214907
Anmeldetag: 7. Dezember 2023
Veröffentlichung: 1. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/82

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Intel Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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