Zusammensetzung und Halbleitersubstratherstellungsverfahren und Ätzverfahren damit

EP4485506 Art A1 1. Januar 2025

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4485506
Aktenzeichen: EP23760002
Anmeldetag: 22. Februar 2023
Veröffentlichung: 1. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H10P50/66H10D30/60H10D64/01// H10D30/01H10D64/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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