Verfahren zur Herstellung einer Euv-Maske mit einer Absorberschicht

EP4487175 Art A1 8. Januar 2025

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4487175
Aktenzeichen: EP23702992
Anmeldetag: 31. Januar 2023
Veröffentlichung: 8. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/78G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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