Ionenimplantations-Dickschichtresistzusammensetzung, Verfahren zur Herstellung eines Verarbeiteten Substrats damit und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung damit

EP4487177 Art A1 8. Januar 2025

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4487177
Aktenzeichen
EP23707924
Anmeldetag
27. Februar 2023
Veröffentlichung
8. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/004G03F7/039
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Merck Patent GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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