Wirbelstromüberwachung zur Vibrationsdetektion Beim Polieren

EP4489936 Art A1 15. Januar 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4489936
Aktenzeichen: EP22931221
Anmeldetag: 20. Juli 2022
Veröffentlichung: 15. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B24B49/10B24B37/005

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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