Hitzeschildanordnungen zur Minimierung von Wärmestrahlung zur Pumpe einer Prozesskammer

EP4490338 Art A1 15. Januar 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4490338
Aktenzeichen: EP23767388
Anmeldetag: 7. März 2023
Veröffentlichung: 15. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/24C23C14/34C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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