Messvorrichtung, Robotersystem, Verwaltungsverfahren, Zielelement und Messverfahren

EP4491349 Art A1 15. Januar 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4491349
Aktenzeichen: EP22930858
Anmeldetag: 10. März 2022
Veröffentlichung: 15. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B25J9/10B25J19/02G01B11/00G01B11/03G01B11/26B25J13/08G01S17/42G01S17/875G06T7/73

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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