Waferbehälter und Waferträger

EP4492441 Art A1 15. Januar 2025

Anmelder: Murata Machinery, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4492441
Aktenzeichen: EP23766400
Anmeldetag: 8. Februar 2023
Veröffentlichung: 15. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Murata Machinery, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Murata Machinery

Japanischer Maschinenbauer (Marke Muratec) mit Schwerpunkt auf Textilmaschinen, Logistiksystemen und Werkzeugmaschinen, nicht zu verwechseln mit Murata Manufacturing.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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