Vorrichtung zum Greifen von Wafern

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4492442

Aktenzeichen

EP24187498

Anmeldetag

9. Juli 2024

Veröffentlichung

12. Februar 2025

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/677H01L21/687

Abstract

L'invention concerne un dispositif de préhension d'au moins une plaquette de matériau semi-conducteur. Le dispositif comprend au moins une unité de préhension (120) comprenant une paire d'organes de préhension (140, 150) disposés à distance l'un de l'autre et comportant chacun une encoche, l'encoche d'un des organes de préhension (140, 150) étant adaptée pour recevoir un bord de ladite au moins une plaquette tandis que l'encoche de l'autre des organes de préhension (150, 140) étant adaptée pour recevoir un bord opposé de ladite au moins une plaquette, et un moyen de déplacement (160) configuré pour rapprocher/écarter les organes de préhension (140, 150) l'un de l'autre entre une configuration de verrouillage de l'au moins une plaquette en vue de sa préhension et une configuration d'insertion.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete